סלאַ (סטערעאָליטהאָגראַפי) איז אַ אַדאַטיוו מאַנופאַקטורינג פּראָצעס וואָס אַרבעט דורך פאָוקיסינג אַ ווו לאַזער אויף אַ וואַט פון פאָטאָפאַפּאָלימער סמאָלע. מיט דער הילף פון קאָמפּיוטער אַסיסטאַד מאַנופאַקטורינג אָדער קאָמפּיוטער ספּידיד פּלאַן (קאַם / קאַד) ווייכווארג, די UV LASTOM איז געניצט צו ציען אַ פאַר - פּראָוגראַמד פּלאַן אָדער פאָרעם אויף צו די ייבערפלאַך פון די פאָטאָפּאָלימער וואַט. פאָטאָפּאָלימערס זענען שפּירעוודיק צו אַלטראַווייאַליט ליכט, אַזוי די סמאָלע איז פאָטאָטשעמיקאַללי סאַלאַטעראַפייד און פארמען אַ איין שיכטע פון דער געוואלט 3 ד כייפעץ. דער פּראָצעס איז ריפּיטיד פֿאַר יעדער שיכטע פון דער פּלאַן ביז די 3 ד כייפעץ איז גאַנץ.
קאַרמאַנהאַאַס קען פאָרשלאָגן קונה די אָפּטיש סיסטעם דער הויפּט כולל שנעל גאַלוואַנאָמעטער סקאַננער און F-Theta יבערקוקן אָביעקטיוו, שטראַל עקספּאַנדער, שפּיגל, עטק.
355 נם גאַלוואָ סקאַננער קאָפּ
| מאָדעל | Psh14-h | PSH20-H | PSH30-h |
| וואַסער קיל / געחתמעט יבערקוקן קאָפּ | יאָ | יאָ | יאָ |
| עפענונג (מם) | 14 | 20 | 30 |
| עפעקטיוו יבערקוקן ווינקל | ± 10 ° | ± 10 ° | ± 10 ° |
| טראַקינג טעות | 0.19 מיז | 0.28 מס | 0.45 מס |
| שריט ענטפער צייט (1% פון פול וואָג) | ≤ 0.4 מיז | ≤ 0.6 מיז | ≤ 0.9 מיז |
| טיפּיש גיכקייַט | |||
| פּאַזישאַנינג / שפּרינגען | <15 עם / s | <12 עם / s | <9 עם / s |
| שורה סקאַנינג / ראַסטער סקאַנינג | <10 עם / s | <7 עם / s | <4 עם / s |
| טיפּיש וועקטאָר סקאַנינג | <4 עם / s | <3 עם / s | <2 עם / s |
| גוט שרייבן קוואַליטעט | 700 קפּס | 450 קפּס | 260 CPS |
| הויך שרייבן קוואַליטעט | 550 קפּס | 320 CPS | 180 CPS |
| פּינטלעכקייַט | |||
| לינעאַריטי | 99.9% | 99.9% | 99.9% |
| האַכלאָטע | ≤ 1 וראַד | ≤ 1 וראַד | ≤ 1 וראַד |
| ריפּיטאַביליטי | ≤ 2 וראַד | ≤ 2 וראַד | ≤ 2 וראַד |
| טעמפּעראַטור טעמפּעראַטורע | |||
| אָפסעט | ≤ 3 וראַד / ℃ | ≤ 3 וראַד / ℃ | ≤ 3 וראַד / ℃ |
| קווער 8 שעה לאַנג-טערמין פאָטאָ דריפט (נאָך 15 מין וואָרענען-אַרויף) | ≤ 30 וראַד | ≤ 30 וראַד | ≤ 30 וראַד |
| אַפּערייטינג טעמפּעראַטור קייט | 25 ℃ ± 10 ℃ | 25 ℃ ± 10 ℃ | 25 ℃ ± 10 ℃ |
| סיגנאַל צובינד | אַנאַלאָג: ± 10 וו דיגיטאַל: XY2-100 פּראָטאָקאָל | אַנאַלאָג: ± 10 וו דיגיטאַל: XY2-100 פּראָטאָקאָל | אַנאַלאָג: ± 10 וו דיגיטאַל: XY2-100 פּראָטאָקאָל |
| אַרייַנשרייַב מאַכט פאָדערונג (דק) | ± 15 וו @ 4A מאַקס רמס | ± 15 וו @ 4A מאַקס רמס | ± 15 וו @ 4A מאַקס רמס |
355 נם F-Theta Lenses
| טייל באַשרייַבונג | פאָקאַל לענג (מם) | יבערקוקן פיעלד (מם) | מאַקסימום אַרייַנגאַנג תלמיד (מם) | אַרבעט ווייַטקייט (מם) | מאַונטינג פאָדעם |
| סל -355-360-580 | 580 | 360 קס 360 | 16 | 660 | מ 85 קס 1 |
| סל -355-520-750 | 750 | 520 קס 520 | 10 | 824.4 | מ 85 קס 1 |
| SL-355-610-840- (15CA) | 840 | 610 קס 610 | 15 | 910 | מ 85 קס 1 |
| סל -355-800-1090- (18 קאַ) | 1090 | 800 קס 800 | 18 | 1193 | מ 85 קס 1 |
355 נם שטראַל עקספּאַנדער
| טייל באַשרייַבונג | יקספּאַנשאַן פאַרהעלטעניש | אַרייַנשרייַב קאַ (מם) | רעזולטאַט CA (מם) | האָוסינג דיאַ (מם) | האָוסינג לענג (מם) | מאַונטינג פאָדעם |
| Be3-355-ד 30: 84.5-3 קס-א (מ 30 * 1-מ 43 * 0.5) | 3X | 10 | 33 | 46 | 84.5 | מ 30 * 1-מ 43 * 0.5 |
| Be3-355-ד 33: 84.5-5 קס-א (מ 30 * 1-מ 43 * 0.5) | 5X | 10 | 33 | 46 | 84.5 | מ 30 * 1-מ 43 * 0.5 |
| Be3-355-ד 33: 80.3-7 קס-אַ (מ 30 * 1-מ 43 * 0.5) | 7X | 10 | 33 | 46 | 80.3 | מ 30 * 1-מ 43 * 0.5 |
| Be3-355-ד 30: 90-8 קס-אַ (מ 30 * 1-מ 43 * 0.5) | 8X | 10 | 33 | 46 | 90.0 | מ 30 * 1-מ 43 * 0.5 |
| Be3-355-D30: 72-10x-a (m30 * 1-m43 * 0.5) | 10 קס | 10 | 33 | 46 | 72.0 | מ 30 * 1-מ 43 * 0.5 |
355 נם שפּיגל
| טייל באַשרייַבונג | דיאַמעטער (מם) | גרעב (מם) | קאָוטינג |
| 355 שפּיגל | 30 | 3 | HR @ 355 נם, 45 ° AOI |
| 355 שפּיגל | 20 | 5 | HR @ 355 נם, 45 ° AOI |
| 355 שפּיגל | 30 | 5 | HR @ 355 נם, 45 ° AOI |
