SLA (סטערעאָליטהאָגראַפי) איז אַן אַדאַטיוו מאַנופאַקטורינג פּראָצעס וואָס אַרבעט דורך פאָוקיסינג אַן UV לאַזער אויף אַ וואַט פון פאָטאָפּאָלימער סמאָלע. מיט די הילף פון קאָמפּיוטער יידיד מאַנופאַקטורינג אָדער קאָמפּיוטער יידיד פּלאַן (CAM / CAD) ווייכווארג, די UV לאַזער איז געניצט צו ציען אַ פאַר-פּראָוגראַמד פּלאַן אָדער פאָרעם אויף די ייבערפלאַך פון די פאָטאָפּאָלימער וואַט. פאָטאָפּאָלימערס זענען שפּירעוודיק צו אַלטראַווייאַליט ליכט, אַזוי די סמאָלע איז פאָטאָטשעמיקלי סאַלידאַפייד און פארמען אַ איין שיכטע פון די געבעטן 3 ד כייפעץ. דער פּראָצעס איז ריפּיטיד פֿאַר יעדער שיכטע פון די פּלאַן ביז די 3 ד כייפעץ איז גאַנץ.
CARMANHAAS קען פאָרשלאָגן קונה די אָפּטיש סיסטעם דער הויפּט כולל שנעל גאַלוואַנאָמעטער סקאַננער און F-THETA יבערקוקן אָביעקטיוו, שטראַל יקספּאַנדער, שפּיגל, עטק.
355nm גאַלוואָ סקאַננער קאָפּ
| מאָדעל | PSH14-H | PSH20-H | PSH30-H |
| וואַסער קיל / געחתמעט יבערקוקן קאָפּ | יאָ | יאָ | יאָ |
| עפענונג (מם) | 14 | 20 | 30 |
| עפעקטיוו סקאַן ווינקל | ±10° | ±10° | ±10° |
| טראַקינג טעות | 0.19 מיז | 0.28ms | 0.45ms |
| שריט ענטפער צייט (1% פון פול וואָג) | ≤ 0.4 מיז | ≤ 0.6 מיז | ≤ 0.9 מיז |
| טיפּיש ספּיד | |||
| פּאַזישאַנינג / שפּרינגען | < 15 עם / s | < 12 עם / s | < 9 עם / s |
| שורה סקאַנינג / ראַסטער סקאַנינג | < 10 עם / s | < 7 עם / s | < 4 עם / s |
| טיפּיש וועקטאָר סקאַנינג | < 4 עם / s | < 3 עם / s | < 2 עם / s |
| גוט רייטינג קוואַליטעט | 700 קפּס | 450 קפּס | 260 קפּס |
| הויך שרייבן קוואַליטעט | 550 קפּס | 320 קפּס | 180 קפּס |
| פּינטלעכקייַט | |||
| לינעאַריטי | 99.9% | 99.9% | 99.9% |
| האַכלאָטע | ≤ 1 וראַד | ≤ 1 וראַד | ≤ 1 וראַד |
| רעפּעאַטאַביליטי | ≤ 2 וראַד | ≤ 2 וראַד | ≤ 2 וראַד |
| טעמפּעראַטור דריפט | |||
| אָפסעט דריפט | ≤ 3 וראַד/℃ | ≤ 3 וראַד/℃ | ≤ 3 וראַד/℃ |
| Qver 8 שעה לאַנג-טערמין פאָטאָ דריפט (נאָך 15 מינוט וואָרענען-אַרויף) | ≤ 30 וראַד | ≤ 30 וראַד | ≤ 30 וראַד |
| אַפּערייטינג טעמפּעראַטור ראַנגע | 25 ℃ ± 10 ℃ | 25 ℃ ± 10 ℃ | 25 ℃ ± 10 ℃ |
| סיגנאַל צובינד | אַנאַלאָג: ±10וו דיגיטאַל: XY2-100 פּראָטאָקאָל | אַנאַלאָג: ±10וו דיגיטאַל: XY2-100 פּראָטאָקאָל | אַנאַלאָג: ±10וו דיגיטאַל: XY2-100 פּראָטאָקאָל |
| אַרייַנשרייַב מאַכט פאָדערונג (דק) | ± 15 וו @ 4 אַ מאַקס רמס | ± 15 וו @ 4 אַ מאַקס רמס | ± 15 וו @ 4 אַ מאַקס רמס |
355nm F-Theta לענסעס
| טייל באַשרייַבונג | פאָקאַל לענג (מם) | סקאַן פעלד (מם) | מאַקס אַרייַנגאַנג תלמיד (מם) | אַרבעט דיסטאַנסע (מם) | מאַונטינג פֿאָדעם |
| SL-355-360-580 | 580 | 360x360 | 16 | 660 | M85x1 |
| SL-355-520-750 | 750 | 520x520 | 10 | 824.4 | M85x1 |
| SL-355-610-840-(15CA) | 840 | 610x610 | 15 | 910 | M85x1 |
| SL-355-800-1090-(18CA) | 1090 | 800x800 | 18 | 1193 | M85x1 |
355nm שטראַל עקספּאַנדער
| טייל באַשרייַבונג | יקספּאַנשאַן פאַרהעלטעניש | אַרייַנשרייַב CA (מם) | רעזולטאַט CA (מם) | האָוסינג דיאַמעטער (מם) | האָוסינג לענג (מם) | מאַונטינג פֿאָדעם |
| BE3-355-D30:84.5-3x-A(M30*1-M43*0.5) | 3X | 10 | 33 | 46 | 84.5 | מ30*1-מ43*0.5 |
| BE3-355-D33:84.5-5x-A(M30*1-M43*0.5) | 5X | 10 | 33 | 46 | 84.5 | מ30*1-מ43*0.5 |
| BE3-355-D33:80.3-7x-A(M30*1-M43*0.5) | 7X | 10 | 33 | 46 | 80.3 | מ30*1-מ43*0.5 |
| BE3-355-D30:90-8x-A(M30*1-M43*0.5) | 8X | 10 | 33 | 46 | 90.0 | מ30*1-מ43*0.5 |
| BE3-355-D30:72-10x-A(M30*1-M43*0.5) | 10X | 10 | 33 | 46 | 72.0 | מ30*1-מ43*0.5 |
355nm שפּיגל
| טייל באַשרייַבונג | דיאַמעטער (מם) | גרעב (מם) | קאָוטינג |
| 355 שפּיגל | 30 | 3 | HR@355nm,45° AOI |
| 355 שפּיגל | 20 | 5 | HR@355nm,45° AOI |
| 355 שפּיגל | 30 | 5 | HR@355nm,45° AOI |
