SLA (סטערעאָליטהאָגראַפי) איז אַן אַדיטיווע פאַבריקאַציע פּראָצעס וואָס אַרבעט דורך פאָקוסירן אַן UV לאַזער אויף אַ טאָפּ פון פאָטאָפּאָלימער רעזין. מיט דער הילף פון קאָמפּיוטער-געשטיצטער פאַבריקאַציע אָדער קאָמפּיוטער-געשטיצטער פּלאַן (CAM/CAD) ווייכווארג, ווערט דער UV לאַזער גענוצט צו צייכענען אַ פאַר-פּראָגראַמירטן פּלאַן אָדער פאָרעם אויף דער ייבערפלאַך פון דער פאָטאָפּאָלימער טאָפּ. פאָטאָפּאָלימערס זענען סענסיטיוו צו אולטראַוויאָלעט ליכט, אַזוי ווערט דער רעזין פאָטאָכעמיש פאַרפעסטיקט און פאָרמירט אַן איינציקע שיכט פון דעם געוואונטשענעם 3D אָביעקט. דער פּראָצעס ווערט איבערגעחזרט פֿאַר יעדער שיכט פון דעם פּלאַן ביז דער 3D אָביעקט איז פאַרטיק.
קאַרמאַנהאַאַס קען אָנבאָטן קונה די אָפּטישע סיסטעם וואָס כולל דער הויפּט אַ שנעל גאַלוואַנאָמעטער סקאַנער און F-THETA סקען לינז, שטראַל עקספּאַנדער, שפּיגל, אאז"ו ו.
355nm גאַלוואָ סקאַנער קאָפּ
| מאָדעל | פּש14-ה | פּש20-ה | פּש30-ה |
| וואַסער קיל/פאַרזיגלט סקען קאָפּ | יא | יא | יא |
| עפענונג (מ״מ) | 14 | 20 | 30 |
| עפעקטיווער סקען ווינקל | ±10° | ±10° | ±10° |
| טראַקינג טעות | 0.19 מיליסעקונדעס | 0.28ms | 0.45ms |
| שריט רעאַקציע צייט (1% פון פול וואָג) | ≤ 0.4 מס | ≤ 0.6 מס | ≤ 0.9 מס |
| טיפּישע גיכקייט | |||
| פּאָזיציאָנירן / שפּרינגען | < 15 מעטער/סעקונדע | < 12 מעטער/סעקונדע | < 9 מעטער/סעקונדע |
| ליניע סקאַנינג/ראַסטער סקאַנינג | < 10 מעטער/סעקונדע | < 7 מעטער/סעקונדע | < 4 מעטער/סעקונדע |
| טיפּישע וועקטאָר סקאַנינג | < 4 מעטער/סעקונדע | < 3 מעטער/סעקונדע | < 2 מעטער/סעקונדע |
| גוטע שרייבן קוואַליטעט | 700 סי-פּי-עס | 450 סי-פּי-עס | 260 סי-פּי-עס |
| הויכע שרייב קוואַליטעט | 550 סי-פּי-עס | 320 קפּס | 180 סי-פּי-עס |
| פּרעציזיע | |||
| לינעאַריטעט | 99.9% | 99.9% | 99.9% |
| רעזאָלוציע | ≤ 1 אוראד | ≤ 1 אוראד | ≤ 1 אוראד |
| איבערחזרנדיקייט | ≤ 2 אוראד | ≤ 2 אוראד | ≤ 2 אוראד |
| טעמפּעראַטור דריפט | |||
| אָפסעט דריפט | ≤ 3 אוראד/℃ | ≤ 3 אוראד/℃ | ≤ 3 אוראד/℃ |
| קווער 8 שעה לאנג-טערמין אפזעץ דריפט (נאך 15 מינוט ווארענונג) | ≤ 30 אוראד | ≤ 30 אוראד | ≤ 30 אוראד |
| אַפּערייטינג טעמפּעראַטור קייט | 25℃±10℃ | 25℃±10℃ | 25℃±10℃ |
| סיגנאַל צובינד | אנאַלאָג: ±10V דיגיטאַל: XY2-100 פּראָטאָקאָל | אנאַלאָג: ±10V דיגיטאַל: XY2-100 פּראָטאָקאָל | אנאַלאָג: ±10V דיגיטאַל: XY2-100 פּראָטאָקאָל |
| אינפוט מאַכט רעקווייערמענט (DC) | ±15V @ 4A מאַקס RMS | ±15V @ 4A מאַקס RMS | ±15V @ 4A מאַקס RMS |
355 נם F-טעטאַ לענסעס
| טייל באַשרייַבונג | פאָקאַל לענג (מ״מ) | סקען פעלד (מ״מ) | מאַקסימום אַרייַנגאַנג פּופּיל (מ״מ) | אַרבעט דיסטאַנס (מם) | מאָנטירונג פֿאָדעם |
| SL-355-360-580 | 580 | 360x360 | 16 | 660 | M85x1 |
| SL-355-520-750 | 750 | 520x520 | 10 | 824.4 | M85x1 |
| SL-355-610-840-(15CA) | 840 | 610x610 | 15 | 910 | M85x1 |
| SL-355-800-1090-(18CA) | 1090 | 800x800 | 18 | 1193 | M85x1 |
355 נם שטראַל עקספּאַנדער
| טייל באַשרייַבונג | עקספּאַנסיע פאַרהעלטעניש | אינפוט CA (מ״מ) | רעזולטאַט CA (מם) | האָוסינג דיאַמעטער (מם) | האָוסינג לענג (מם) | מאָנטירונג פֿאָדעם |
| BE3-355-D30:84.5-3x-A(M30*1-M43*0.5) | 3X | 10 | 33 | 46 | 84.5 | M30*1-M43*0.5 |
| BE3-355-D33:84.5-5x-A(M30*1-M43*0.5) | 5X | 10 | 33 | 46 | 84.5 | M30*1-M43*0.5 |
| BE3-355-D33:80.3-7x-A(M30*1-M43*0.5) | 7X | 10 | 33 | 46 | 80.3 | M30*1-M43*0.5 |
| BE3-355-D30:90-8x-A(M30*1-M43*0.5) | 8X | 10 | 33 | 46 | 90.0 | M30*1-M43*0.5 |
| BE3-355-D30:72-10x-A(M30*1-M43*0.5) | 10X | 10 | 33 | 46 | 72.0 | M30*1-M43*0.5 |
355 נאַנאָמעטער שפּיגל
| טייל באַשרייַבונג | דיאַמעטער (מם) | גרעב (מם) | קאָוטינג |
| 355 שפּיגל | 30 | 3 | HR@355nm, 45° AOI |
| 355 שפּיגל | 20 | 5 | HR@355nm, 45° AOI |
| 355 שפּיגל | 30 | 5 | HR@355nm, 45° AOI |
