קאַרמאַנהאַאַס שפּיגלען אדער טאָטאַל רעפלעקטאָרן ווערן גענוצט אין לאַזער קאַוויטיז ווי הינטערשטע רעפלעקטאָרן און פאָלד שפּיגלען, און אויסערלעך ווי שטראַל בענדערס אין שטראַל עקספּרעס סיסטעמען.
סיליקאָן איז די מערסט אָפט געניצטע שפּיגל סאַבסטראַט; איר מייַלע איז נידעריק קאָסטן, גוטע געווער, און טערמישע פעסטקייט.
מאָליבדען שפּיגל'ס גאָר שטאַרקע ייבערפלאַך מאַכט עס ידעאַל פֿאַר די מערסט פאָדערנדיקע גשמיות סביבות. מאָ שפּיגל ווערט נאָרמאַלערווייַז געפֿינט אָן באַדעקונג.
| ספּעציפֿיקאַציעס | סטאַנדאַרדן |
| דימענסיאָנעלע טאָלעראַנץ | +0.000” / -0.005” |
| גרעב טאָלעראַנץ | ±0.010” |
| פּאַראַלעליזם: (פּלאַנאָ) | ≤ 3 באָגן מינוטן |
| קלאָרע אַפּערטור (פּאָלירט) | 90% פון דיאַמעטער |
| ייבערפלאַך פיגור @ 0.63µm | מאַכט: 2 פראַנצן, אומרעכטיקייט: 1 פראַנץ |
| קראַץ-גראָבן | 10-5 |
| פּראָדוקט נאָמען | דיאַמעטער (מם) | ET (מ״מ) | קאָוטינג |
| מאָ שפּיגל | 30 | 3/6 | קיין קאָוטינג, AOI: 45° |
| 50.8 | 5.08 | ||
| סיליקאָן שפּיגל | 30 | 3/4 | האַרץ ראַטע @ 106ום, צייט-אויפֿגאַנג: 45° |
| 38.1 | 4/8 | ||
| 50.8 | 9.525 |
