קאַרמאַנהאַאַס מירערז אָדער גאַנץ רעפלעקטאָרס זענען געניצט אין לאַזער קאַוויטיז ווי דערציען רעפלעקטאָרס און פאַרלייגן מירערז, און ויסווייניק ווי שטראַל ווי שטראַל ביי שטראַל צושטאַנד סיסטעמען.
סיליציום איז די מערסט קאַמאַנלי געוויינט שפּיגל סאַבסטרייט; זייַן מייַלע איז נידעריק פּרייַז, גוט געווער און טערמאַל פעסטקייַט.
מאָליבדענום שפּיגל גאָר האַרט ייבערפלאַך מאכט עס ידעאַל פֿאַר די מערסט פאדערן גשמיות ינווייראַנמאַנץ. מאָ שפּיגל איז נאָרמאַלי געפֿינט ונקאָאַטעד.
| ספּעסאַפאַקיישאַנז | סטאַנדאַרדס |
| דימענשאַנאַל טאָלעראַנץ | +0.000 "/ -0.005" |
| גרעב טאָלעראַנץ | ± 0.010 " |
| פּאַראַלעליסם: (פּלאַנאָ) | ≤ 3 קרייַזבויגן מינוט |
| קלאָר אַפּערטורע (פּאַלישט) | 90% פון דיאַמעטער |
| ייבערפלאַך פיגורע @ 0.63um | מאַכט: 2 פרינדזשז, ירעגיאַלעראַטי: 1 פרינדזש |
| קראַצן-גראָבן | 10-5 |
| פּראָדוקט נאָמען | דיאַמעטער (מם) | עט (מם) | קאָוטינג |
| מאָווער | 30 | 3/6 | קיין קאָוטינג, אַאָי: 45 ° |
| 50.8 | 5.08 | ||
| סיליציאן שפּיגל | 30 | 3/4 | HR @ 106um, AOI: 45 ° |
| 38.1 | 4/8 | ||
| 50.8 | 9.525 |
